華林科納以CDS設備的持續穩定流量的供液，SDS設備精準的配比，順暢的供液，輔助您線上設備，加快您的速率，提高您成品保障，提高您的產能。

華林科納優勢：

如何流量持續穩定？

CDS/SDS設備選擇

供液系統，一般情況下，同種溶液的原液桶為兩個，一備一用。當其中一個桶的液位傳感器檢測到該桶已經無液時，信號會自動使切換閥切換到另一個滿桶繼續工作。

另一種情況，受客戶場地或廠務因素等影響，供液系統與工藝機臺處于不同高度。

操作安全：系統具抗腐蝕性、毒性、耐壓、防燃防爆等功能，保證操作者安全；

兼容性：與化學品接觸部分完全與輸送化學品兼容，對化學品零污染；

流量及揚程：滿足供液過程中的流量和揚程要求，對高濃度化學品（如H2SO4、H3PO4）和具有垂直落差（供液系統與工藝機臺不在同一高度）的動力空間；

自動控制操作運轉：系統單元與機臺界面自動化；

精確配比：系統連續供液（配液，補液）過程中準確可靠，脈動性較好；

取樣分析：便于對系統中管路的粒子、金屬離子等取樣分析；

泄露警報：檢測泄漏及緊急關閉系統（EMO）;

根據不同場地需求，不同藥液，選擇設備材質，管路走向，一備一用的原液桶自由切換，同時信號報警，更換原液，保障設備持續運行，提高產能；

泵的選擇：

供液泵作為動力源，常與閥門、管道、流量計等組成自動供液系統，用于配液、補液。

供液泵的選擇，采用CDA作為動力源，選用的材質，需對各種腐蝕性液體、帶顆粒的液體、高粘度、易揮發、易燃的液體均可傳輸；

隔膜泵，風囊泵特點：具有自吸功能，可空轉運行，沒有機械密封，不會產生顆粒及污染，適用于中高黏度的液體，膜片抗腐蝕。

管路的安裝處理

管路采用耐酸堿PFA材質；

規范施工安裝（安裝布局位置均按設計標準）

氣液分離器，保證管路系統中傳輸液體的連續穩定性

如何配比（配液）精確？

根據不同化學品/Slurry 特性選擇不同輔助功能：循環，攪拌，加濕，噴淋，吹掃等；

電子秤的運用：

電子秤精度一般1/3000~1/1000，主要用于相對穩定藥液，對溫度，壓力等要求低，具有不易揮發性；

減少噴淋，吹掃，加濕，攪拌等輔助功能對混合儲罐的連接影響，增強電子秤準確性；

進液管路側向進液，不直沖罐體；

流量計的使用：

保證管路內不存在氣泡，流速均勻，可采用我司特制氣液分離器；

泵的選擇，內膜片穩定運行，氣動穩定；

管路安裝，減少彎頭及水錘現象；

確保管路內沒有藥液殘留

公司歷史悠久

技術支撐

華林科納與蘇州納米研究所合資共建，保障了前沿技術、核心技術、關鍵技術的研究和開發；

研發團隊

華林科納具有高新技術企業資質，核心技術人員來自德國、臺灣、蘇州納米所，均有十五年以上CDS和WETBENCH的研發設計經驗；

2020年，我司對標國外一流廠商，建成千級濕法實驗室，是國內唯一能配合用戶實現DEMO的廠家

華林科納供液系統供應的slurry>40種,chemical>20種,Fab>60，90%以上都是6寸、8寸、12寸FAB，在最新的14-28nm FAB里，有超過200套的供液系統業績。產品全面對標國際領先產品，獲得國內外頭部客戶的認可。

工藝優勢

針對性強

針對特種化學品液體本身的特點和使用需求進行設計施工，因此具備很強的針對性。

針對性施工與檢測

針對性優化設計

針對性選材與采購

安全性高

化學品管道設備強調安全第一，所有設計和施工符合相關安全標準和規范如：根據根據化學品性質確保設備材料耐腐和抗壓能力。

安全標識明確，定時間檢查空氣質量

工具，設備，消防系統保養

電器電線及設備定時檢修維修

靈活性大

可根據實際施工要求進行調整與規劃。

靈活性施工可以在變化中保證施工進度及質量

靈活性售后，服務相應快24小時On call服務20分鐘內響應客戶服務時間在工作時間,12小時內到達客戶現場，假日期間:18小時內到達。

選擇正確的設備，專業設計團隊，強大的專業制作團隊，完善的售后服務，給您優秀的輔助，帶來質的飛躍。

華林科納（江蘇）半導體設備有限公司（CSE）將繼續為中國半導體行業做出努力和貢獻。

免責聲明：市場有風險，選擇需謹慎！此文僅供參考，不作買賣依據。